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数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
作者:  何煦;  向阳
caj(1178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/116  |  提交时间：2014/03/07
光学测量  波像差  相移式干涉仪  剪切干涉仪  柔性铰链