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Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1143-1149
作者:  李云鹏;  郑鑫;  张宏吉;  王孝东;  陈波;  曹健林
caj(642Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：685/143  |  提交时间：2015/04/17
光子计数成像  磁控溅射  非晶ge薄膜  电荷感应层