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纳米级面形精度光学平面镜加工 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 4, 页码: 616-621
作者:  张峰
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/158  |  提交时间：2015/04/17
光学加工  环带抛光  离子束抛光  材料去除函数