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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 11, 页码: 2395-2401
作者:  张立超;  高劲松
caj(462Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：594/165  |  提交时间：2013/03/11
深紫外光学  光学薄膜  薄膜沉积  薄膜测量  透过率  面形精度