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离子束抛光去除函数计算与抛光实验 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 01, 页码: 31-39
作者:  唐瓦;  邓伟杰;  郑立功;  张学军
caj(365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：269/124  |  提交时间：2016/07/06
光学加工  离子束抛光  溅射效应  法拉第杯扫描  去除函数