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使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2004, 期号: 06, 页码: 576-580
作者:  尼启良;  齐立红;  陈波
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软x射线反射率计  多层膜  激光等离子体  气体靶  
气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2003, 期号: 01, 页码: 101-103
作者:  尼启良;  巩岩;  林景全;  陈波;  曹健林
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:398/67  |  提交时间:2013/03/11
软x-射线  激光等离子体  气体靶  软x-射线投影光刻  
激光等离子体软X射线光源的一种诊断方法 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 03, 页码: 235-238
作者:  尼启良;  陈波;  巩岩;  曹健林
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激光等离子  软x射线诊断  气体靶  软x射线光源