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超精密加工技术的发展概况 期刊论文
光机电信息, 1998, 期号: 08, 页码: 16-18
作者:  彭书志
caj(168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：555/64  |  提交时间：2013/03/12
超精密加工:6278  超精密机床:4610  加工技术:4220  发展概况:3700  超精密车床:1903  压电陶瓷:1240  热膨胀系数:884  气体静压轴承:856  液体静压轴承:769  高精度:738