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高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1990, 期号: 01, 页码: 54-58
作者:  董连和;  马宏;  王连成
收藏  |  浏览/下载：433/0  |  提交时间：2013/03/11
光刻  感应同步器  母版