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六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  田兴志
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/49  |  提交时间：2013/03/11
光刻  磁悬浮  X-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦