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基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究 期刊论文
电子器件, 2008, 期号: 3
作者:  王志娟;  郑玉彤;  闫晓东;  汤建华
caj(1201Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：675/236  |  提交时间：2012/09/25
激光调阻  调阻精度  横向刻蚀长度  横向起刻位置  有限元法