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碳化硅光学表面抛光机理研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2012, 期号: 02, 页码: 131-134
作者:  范镝
caj(147Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：705/184  |  提交时间：2013/03/11
光学制造  抛光机理  碳化硅  压痕断裂模型