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MEMS和微流体分析系统的发展 期刊论文
光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：473/113  |  提交时间：2013/03/11
Mems技术:6304  微型全分析系统:4765  微流体:4334  压力传感器:2159  分析仪器:1871  加速度计:1775  流体分析:1530  微制造技术:1371  微小化:1291  仪器仪表:1244