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用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 期刊论文
中国机械工程, 2002, 期号: 01, 页码: 35-38+4
作者:  曲炳郡;  刘晓鹏;  李路明;  王立鼎
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形状记忆合金  薄膜  微型机电系统  冷轧  溅射  原子力显微镜  
微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者:  梁静秋
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微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962