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用于测量微图形的高速机械扫描系统 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 03, 页码: 80-84
作者:  张二星;  阮锦;  赵军
caj(125Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/54  |  提交时间：2013/03/11
微型机械  微图形  机械扫描