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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知... [10]
作者
赵磊 [1]
文献类型
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学位论文 [1]
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2019 [1]
2016 [1]
2013 [1]
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光学精密工程 [3]
仪器仪表学报 [1]
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
caj(8435Kb)
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浏览/下载:316/0
|
提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:
赵磊
;
梁超
;
张德福
;
东立剑
;
彭海峰
caj(585Kb)
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浏览/下载:433/117
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提交时间:2017/09/17
柔顺并联机构
光学元件微动调整
位姿正解
伪刚体模型
矢量代数法
雅克比矩阵
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:
赵磊
;
巩岩
;
赵阳
caj(1756Kb)
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收藏
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浏览/下载:495/145
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提交时间:2014/03/07
光刻物镜
柔性铰链
微动调整机构
系统波像差
基于NIOSⅡ的红外弱小目标检测算法实现
期刊论文
液晶与显示, 2012, 期号: 06, 页码: 814-819
作者:
穆治亚
;
魏仲慧
;
何昕
;
梁国龙
;
林为才
caj(307Kb)
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收藏
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浏览/下载:558/113
|
提交时间:2013/03/11
目标检测
红外图像
Niosⅱ
固视微动
改进的神经网络反演微动面波频散曲线
期刊论文
吉林大学学报(地球科学版), 2011, 期号: 03, 页码: 900-906
作者:
周晓华
;
林君
;
陈祖斌
;
焦健
;
郭同健
caj(582Kb)
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浏览/下载:568/101
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提交时间:2013/03/11
改进bp神经网络
微动
频散曲线
面波
迭代反演
主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究
期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 02, 页码: 201-204
作者:
叶露
caj(37Kb)
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收藏
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浏览/下载:258/45
|
提交时间:2013/03/11
反射镜
轻量化
微动机构
激光淬火对钛合金TC11微动磨损性能的影响
期刊论文
金属热处理学报, 2001, 期号: 02, 页码: 37-40
作者:
张宏
;
石岩
;
徐春鹰
;
戴振东
caj(96Kb)
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收藏
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浏览/下载:453/86
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提交时间:2013/03/11
钛合金
微动磨损
激光淬火
面扫描激光淬火对钛合金微动磨损性能的影响
期刊论文
摩擦学学报, 1999, 期号: 02, 页码: 12-16
作者:
戴振东
;
王珉
;
杨生荣
;
薛群基
;
张宏
caj(278Kb)
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收藏
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浏览/下载:317/59
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提交时间:2013/03/11
激光淬火
钛合金
微动磨损
微观硬度
激光淬火对钛合金微动磨损性能影响的研究
期刊论文
激光与光电子学进展, 1999, 期号: 06, 页码: 13-16
作者:
张宏
;
戴振东
caj(212Kb)
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浏览/下载:446/98
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提交时间:2013/03/11
钛合金
微动磨损
激光淬火
平行弹簧和PZT组合的钠米结构研究
期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: S1, 页码: 227-231
作者:
张海成
caj(156Kb)
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浏览/下载:357/66
|
提交时间:2013/03/11
一体型平行弹簧:9116
结构设计:2125
微动机构:1883
动态特性:1447
位置控制:1398
结构模型:994
驱动部分:985
位移特性:980
转动分量:973
探针扫描:951
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