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投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/116  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/145  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差  
基于NIOSⅡ的红外弱小目标检测算法实现 期刊论文
液晶与显示, 2012, 期号: 06, 页码: 814-819
作者:  穆治亚;  魏仲慧;  何昕;  梁国龙;  林为才
caj(307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：555/113  |  提交时间：2013/03/11
目标检测  红外图像  Niosⅱ  固视微动  
改进的神经网络反演微动面波频散曲线 期刊论文
吉林大学学报(地球科学版), 2011, 期号: 03, 页码: 900-906
作者:  周晓华;  林君;  陈祖斌;  焦健;  郭同健
caj(582Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：564/101  |  提交时间：2013/03/11
改进bp神经网络  微动  频散曲线  面波  迭代反演  
主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 02, 页码: 201-204
作者:  叶露
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：253/45  |  提交时间：2013/03/11
反射镜  轻量化  微动机构  
激光淬火对钛合金TC11微动磨损性能的影响 期刊论文
金属热处理学报, 2001, 期号: 02, 页码: 37-40
作者:  张宏;  石岩;  徐春鹰;  戴振东
caj(96Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：450/84  |  提交时间：2013/03/11
钛合金  微动磨损  激光淬火  
面扫描激光淬火对钛合金微动磨损性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 1999, 期号: 02, 页码: 12-16
作者:  戴振东;  王珉;  杨生荣;  薛群基;  张宏
caj(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/59  |  提交时间：2013/03/11
激光淬火  钛合金  微动磨损  微观硬度  
激光淬火对钛合金微动磨损性能影响的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 1999, 期号: 06, 页码: 13-16
作者:  张宏;  戴振东
caj(212Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/98  |  提交时间：2013/03/11
钛合金  微动磨损  激光淬火  
平行弹簧和PZT组合的钠米结构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: S1, 页码: 227-231
作者:  张海成
caj(156Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/66  |  提交时间：2013/03/11
一体型平行弹簧:9116  结构设计:2125  微动机构:1883  动态特性:1447  位置控制:1398  结构模型:994  驱动部分:985  位移特性:980  转动分量:973  探针扫描:951