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ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  邓文渊;  靳京城
caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：303/77  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  激光损伤  氟化物  聚集密度  电场强度分布  
一种超越型激光强度函数及其数值拟合方法 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 23-29
作者:  袁文全;  巩岩
caj(975Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：652/187  |  提交时间：2013/03/11
激光光学  强度分布  超越函数  多变量寻优  最小二乘法  最陡下降法  方向搜索法  
接近式光刻刻划间隙的确定 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 81-84+97
作者:  付永启
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/71  |  提交时间：2013/03/11
刻划间隙:7286  接近式光刻:5937  刻线质量:2182  线密度:1418  光强度分布:1194  菲涅耳衍射:1113  掩模板:949  衍射效应:715  泰伯效应:634  定量分析:622