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红外测径仪中光学衍射问题和光栏对检测精度影响 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1987, 期号: 01, 页码: 81-88
作者:  韩森;  李成志;  杨大任
收藏  |  浏览/下载：292/0  |  提交时间：2013/03/11
测径仪:4804  光学系统:4508  精度影响:3599  衍射:3189  红外:2682  空间分布:2625  光栏:2360  辐射通量:2294  检测:2148  工件尺寸:1979