中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24
作者:  董吉洪;  田兴志;  李志来;  王明哲
caj(666Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：506/70  |  提交时间：2013/03/11
光刻机  工件台  掩模台  
六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  田兴志
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/46  |  提交时间：2013/03/11
光刻  磁悬浮  X-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦  
双维精密定位工件台数控系统的研究 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 04, 页码: 93-100
作者:  李树秋
caj(260Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/51  |  提交时间：2013/03/11
数控系统  细分  工件台  精密定位