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Φ2 m平面反射镜低频轮廓非接触测量设备研制进展 期刊论文
应用光学, 2016, 期号: 1, 页码: 80-86
作者:  何煦
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/150  |  提交时间：2017/09/17
大口径平面反射镜  面形精度  轮廓测量  子孔径波面斜率