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基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  吕强
caj(7246Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：237/0  |  提交时间：2020/08/24
精密测量  衍射光栅  多维度  大量程  误差分析  外差测量  Littow结构