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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [4]
作者
陈波 [1]
刘世界 [1]
王海峰 [1]
尼启良 [1]
何玲平 [1]
文献类型
期刊论文 [4]
发表日期
2013 [1]
2012 [1]
2003 [1]
1991 [1]
语种
中文 [1]
出处
光学精密工程 [1]
物理 [1]
物理学报 [1]
电子测试 [1]
资助项目
收录类别
CNKI [1]
资助机构
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用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台
期刊论文
电子测试, 2013, 期号: 09, 页码: 255-257
作者:
刘世界
;
尼启良
;
陈波
;
何玲平
;
王海峰
caj(1154Kb)
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浏览/下载:366/115
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提交时间:2014/03/07
极紫外
多层膜
反射率测量
单一原子氧辐照对SR107-ZK白漆反射率的影响
期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 12, 页码: 2607-2612
作者:
付瀚毅
;
刘伟奇
;
柳华
;
魏忠伦
;
康玉思
;
冯睿
;
卢海平
;
孙亮
caj(928Kb)
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收藏
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浏览/下载:585/204
  |  
提交时间:2013/03/11
Sr107-zk白漆
原子氧
反射率测量
电荷耦合器件
光学成像
中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量
期刊论文
物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812
作者:
黄文忠
;
李英骏
;
谷渝秋
;
张杰
;
尤永禄
;
淳于书泰
;
何颍玲
;
雷安乐
;
陈正林
;
马月英
;
金春水
caj(53Kb)
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浏览/下载:422/81
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线多层膜反射镜
反射率测量
X射线激光
光电子学与光电子产业专题系列介绍 用于X射线光学的多层膜
期刊论文
物理, 1991, 期号: 05, 页码: 288-291
作者:
曹健林
caj(233Kb)
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浏览/下载:479/74
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线多层膜:7003
X射线光学:4880
光电子产业:2969
光电子学:2348
波段:1785
多层膜反射镜:1659
反射率测量:1338
膜厚控制:1314
X射线激光:1311
软x射线:1269