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衍射光栅自刻法 期刊论文
光学学报, 1983, 期号: 07, 页码: 577-584
作者:  梁浩明;  郝德阜
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光栅干涉仪:6886  衍射光栅:4330  半波:2609  转接:2562  累积误差:2397  基准光栅:2182  相位差:2111  刻划机:1503  误差系数:1277  衍射波:1261