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光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  杨超;  于海利;  冯树龙;  李晓天;  齐向东;  姜珊;  唐玉国
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/167  |  提交时间：2015/04/17
刻划刀架  刻划光栅  刻线弯曲  刻线位置误差  光栅光谱