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深凹球面网栅恒定曝光量激光直写控制实现 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 02, 页码: 381-386
作者:  梁凤超
caj(425Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：387/116  |  提交时间：2014/03/07
恒定曝光量  凹球面  网栅  激光直写  伺服控制  
凹球面网栅光刻控制算法零点误差分析 期刊论文
光电工程, 2008, 期号: 12
作者:  梁凤超
Unknown(1217Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/86  |  提交时间：2012/09/25
凹球面  网栅  光刻  控制  误差分析  
刀口阴影检验的灵敏度 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1987, 期号: 01, 页码: 29-36
作者:  杨志文
收藏  |  浏览/下载：467/0  |  提交时间：2013/03/11
极限灵敏度:5951  刀口:3345  检验灵敏度:3321  对比灵敏度:3138  阴影法:2604  阴影图:2525  检验法:2504  凹球面反射镜:2366  狭缝光源:1937  星孔:1927