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小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者:  焦庆斌
caj(265Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/112  |  提交时间：2016/07/06
紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀