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母光栅刻划设备运动平台机械误差分析 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2015, 期号: 05, 页码: 9-13
作者:  黄剑波;  郑黎明
caj(1477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：274/78  |  提交时间：2016/07/06
运动平台  机械误差  多体系统动力学  低序体阵列