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改进的激光光斑位置分辨率模型 期刊论文
中国激光, 2019, 卷号: 46, 期号: 09, 页码: 176-182
作者:  陈云善;  吴佳彬;  王景源;  张楠
caj(956Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：180/17  |  提交时间：2020/08/24
测量  四象限探测器  位置检测  位置分辨率  高斯光斑  
一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: S1, 页码: 388
作者:  张飞虎;  张春河;  王平;  韩荣久
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/95  |  提交时间：2013/03/12
微进给:5273  镜面磨削:5245  超精密加工:4725  工作台:2814  超精密磨削:2561  超精密车削:1406  微量进给机构:1343  工程陶瓷:1252  金刚石车刀:1126  位置分辨率:1111