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EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 12, 页码: 2674-2679
作者:  王晓东;  朱小明;  吕宝林;  刘文光
caj(1214Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：694/158  |  提交时间：2013/03/11
极紫外成像仪  光子计数成像仪  极间串扰  伪信号触发  能量上下限  边缘特性