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微机械中超声微电机的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: S1, 页码: 275-278
作者:  崔天宏;  王立鼎;  吕琼莹
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超声微电机:8947  微机械:3058  广义瑞利波:2704  电磁微电机:1459  应力场:547  数学模型:546  转子:409  优化设计:379  应用前景:354  模拟仿真:325