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光学表面的X射线异常散射现象 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 253-259
作者:  孟艳丽;  李达;  陈波
caj(859Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:414/141  |  提交时间:2014/03/07
X射线异常散射  镜像反射  异常散射角  散射强度  临界角  表面粗糙度  
临界角法探焦静态特性实验研究 期刊论文
计量技术, 2005, 期号: 03, 页码: 3-5
作者:  冯晓国;  孙连春
caj(27Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:436/77  |  提交时间:2013/03/11
光刻  焦点探测  临界角  
二元光学元件激光直接写入设备的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: 02, 页码: 154-157
作者:  张景和;  廖江红;  刘伟;  冯晓国
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:374/75  |  提交时间:2013/03/11
二元光学元件  激光直写设备  临界角法  
像差在临界角方法探焦技术中的影响 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 01, 页码: 123-127
作者:  侯澍
caj(55Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:356/59  |  提交时间:2013/03/11
临界角方法  焦点误差测量  像差  测量灵敏度  
一种非接触光电尺寸检测仪研制 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: 01, 页码: 72-75
作者:  郑文学;  安伟;  谷东兵;  张剑家
caj(101Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:476/60  |  提交时间:2013/03/11
非接触测量:6442  尺寸检测:5923  位置传感器:3499  检测仪:2362  偏振分光棱镜:1173  临界角:1078  光斑位置:945  计算机辅助设计:944  软材料:814  光学系统:767