中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
低温下用磁控溅射技术制备无应力氧氮硅薄膜 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2002-08-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  刘益春;  吕有明;  刘玉学;  张吉英;  申德振;  范希武
Adobe PDF(172Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/53  |  提交时间：2012/08/29