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用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2003-10-15, 公开日期: 2003-10-15
发明人:  刘益春;  吕有明;  刘玉学;  张吉英;  申德振;  范希武
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