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Sculpturing of single crystal silicon microstructures by elliptical vibration cutting 期刊论文
Journal of Manufacturing Processes, 2017, 卷号: 29
作者:  Zhang, J. C.;  J. J. Zhang;  T. Cui;  Z. W. Hao and A. Al Zahrani
浏览  |  Adobe PDF(4370Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/101  |  提交时间：2018/06/13