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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:
吴越
;
王丽萍
;
于杰
;
张旭
;
金春水
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提交时间:2022/06/29
变步长搜索的计算全息图编码方法
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 02, 页码: 368-374
作者:
邱宏伟
;
金春水
;
于杰
;
刘钰
;
张海涛
;
王丽萍
;
孙诗壮
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提交时间:2022/06/29
我国准分子激光技术发展现状及趋势研究
期刊论文
中国工程科学, 2020, 卷号: 22, 期号: 03, 页码: 29-34
作者:
范元媛
;
周翊
;
郭馨
;
王倩
;
金春水
;
楼祺洪
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提交时间:2021/07/06
激光器
准分子激光技术
材料加工
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 265-278
作者:
陈晨曦阳
;
金春水
;
王君
;
谢耀
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提交时间:2019/09/17
光谱仪
近边X射线吸收
掠入射
优化的装配方案
分辨率
Design of a compact spectrometer under grazing incidence conditions for near-edge X-ray absorption spectroscopy;X
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 265-278
作者:
Chen, Chen-Xi-Yang
;
Jin, Chun-Shui
;
Wang, Jun
;
Xie, Yao
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提交时间:2019/09/17
Spectrometers
CCD cameras
Laser produced plasmas
Nitrogen plasma
Optical resolving power
Organic carbon
Organic lasers
Ray tracing
X ray absorption spectroscopy
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
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提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:
王君
;
王丽萍
;
金春水
;
苗亮
;
谢耀
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提交时间:2016/07/06
光学设计
极紫外光刻
可视化界面
初始结构
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:
王珣
;
金春水
;
李春
;
匡尚奇
caj(1793Kb)
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提交时间:2016/07/06
薄膜
极紫外保护层
直流反应磁控溅射
迟滞回线