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Coupled hysteresis model and its inverse compensation for three-degree-of-freedom tip-tilt-piston piezoelectric stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2023, 卷号: 31, 期号: 20, 页码: 2964-2974
作者:  J. Sima, L. Lai, P. Li, Y. Fang and L. Zhu
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