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柔性悬臂微机械光开关制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-12-30, 公开日期: 2009-12-30
发明人:  梁静秋;  钟砚超;  梁中翥;  陈斌;  孙德贵
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聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2007, 期号: 4
作者:  钟砚超;  梁静秋;  李小奇;  李伟;  王淑荣;  梁中翥;  孙德贵
caj(450Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：542/90  |  提交时间：2012/09/25
聚酰亚胺(Pi)  悬臂梁  有限元分析  光刻