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小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 265-278
作者:  陈晨曦阳;  金春水;  王君;  谢耀
收藏  |  浏览/下载：518/0  |  提交时间：2019/09/17
光谱仪  近边X射线吸收  掠入射  优化的装配方案  分辨率  
Design of a compact spectrometer under grazing incidence conditions for near-edge X-ray absorption spectroscopy;X 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 265-278
作者:  Chen, Chen-Xi-Yang;  Jin, Chun-Shui;  Wang, Jun;  Xie, Yao
Adobe PDF(2513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/154  |  提交时间：2019/09/17
Spectrometers  CCD cameras  Laser produced plasmas  Nitrogen plasma  Optical resolving power  Organic carbon  Organic lasers  Ray tracing  X ray absorption spectroscopy  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/141  |  提交时间：2018/04/09
薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：468/170  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:  梅雪峰;  匡尚奇;  谢耀
caj(1233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：456/245  |  提交时间：2017/09/17
Euv多层膜  量子进化算法  膜系设计  
一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/127  |  提交时间：2017/09/17
测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/158  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：460/145  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/150  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:  谢耀;  于杰;  王丽萍;  王辉;  周烽
caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/142  |  提交时间：2015/04/17
微缩投影系统  集成装调  计算机辅助装调  敏感度矩阵  奇异值分解