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GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 58-63
作者:  谢伦;  高宏刚;  陈斌;  曹健林;  王建明;  刘琳
caj(81Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/77  |  提交时间：2013/03/11
超精密抛光  表面粗糙度  聚氨酯  Ligao_2  Sio_2