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提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294
作者:  祝文秀;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：580/137  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  多层膜  光谱纯度  极紫外