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衍射光栅刻划机分度误差的实时测量 期刊论文
仪器仪表学报, 1993, 期号: 04, 页码: 408-411
作者:  杨厚民;  王晓琳
caj(168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：493/102  |  提交时间：2013/03/12
分度误差:6432  衍射光栅刻划机:5052  实时测量:5031  理论分析:1780  均匀性误差:1158  分辨率:955  原理:837  不确定度:828  脉冲填充:694  鬼线:693