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柔性载带限位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人:  张德龙;  王明哲;  常丰吉;  宋志;  田学光
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100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24
作者:  董吉洪;  田兴志;  李志来;  王明哲
caj(666Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：506/70  |  提交时间：2013/03/11
光刻机  工件台  掩模台  
微小型双电机驱动两维步进定位机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2002-08-07, 公开日期: 2002-08-07
发明人:  高云国;  刘伟;  王明哲;  荆宇
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