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超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-08-17, 公开日期: 2005-08-17
发明人:  宋文荣;  何惠阳;  王延风;  于国飞;  查明
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磁悬浮轴承式超精密微进给机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2004-09-29, 公开日期: 2004-09-29
发明人:  宋文荣;  何惠阳;  于国飞;  王延风;  查明
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