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行波式压电微电机的等效电路特性 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 42-47
作者:  马建旭;  王立鼎;  崔天宏;  昌琼莹
caj(184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/77  |  提交时间：2013/03/11
等效电路  行波式压电微电机  微机械