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用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 期刊论文
中国机械工程, 2002, 期号: 01, 页码: 35-38+4
作者:  曲炳郡;  刘晓鹏;  李路明;  王立鼎
caj(166Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/97  |  提交时间：2013/03/11
形状记忆合金  薄膜  微型机电系统  冷轧  溅射  原子力显微镜