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用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜 期刊论文
液晶与显示, 2005, 期号: 02, 页码: 128-132
作者:  廖燕平;  邵喜斌;  吴渊;  骆文生;  付国柱;  荆海;  马凯
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多晶硅薄膜  金属诱导准分子激光晶化  Nisi2  
激光晶化多晶硅的制备与XRD谱 期刊论文
吉林大学学报(理学版), 2004, 期号: 01, 页码: 99-102
作者:  廖燕平;  黄金英;  郜峰利;  邵喜斌;  付国柱;  荆海;  缪国庆
caj(89Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：469/74  |  提交时间：2013/03/11
氢化非晶硅  脱氢  激光晶化  多晶硅  X射线衍射  半宽度