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用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化 期刊论文
仪器仪表学报, 1989, 期号: 01, 页码: 43-47
作者:  王文生
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干涉测长:5101  自动测试:4008  测试技术:3576  干涉系统:3379  计算机控制:3193  测试结果:2548  物体:2276  电视监视器:2067  参考反射镜:2036  仪器仪表:1838