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高精度无导轨位移平台误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 02, 页码: 313-320
作者:  曹佃生;  高云国
caj(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/96  |  提交时间：2013/03/11
位移平台  直线度  耦合位移  柔性四杆机构  变形板  
一种无导轨精密位移平台 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-12-02, 公开日期: 2009-12-02
发明人:  高云国;  张倩;  张文豹
Adobe PDF(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/54  |  提交时间：2012/08/29