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双向剪切干涉法检测光束准直性 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 109-112
作者:  杨志文
caj(48Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/68  |  提交时间：2013/03/11
光束准直:5735  双向剪切:5049  干涉条纹:4780  剪切干涉法:2823  检测灵敏度:2067  离焦量:1855  准直物镜:1170  准直性:773  剪切方向:769  检测精度:698