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高精度绝对式光栅尺研究进展及技术难点 期刊论文
世界制造技术与装备市场, 2012, 期号: 05, 页码: 72-73
作者:  孙强
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：676/160  |  提交时间：2013/03/11
光栅尺:7210  技术难点:3532  高精度:2538  数控系统:2294  测量原理:2247  摩尔条纹:2241  扫描技术:1929  光栅传感器:1905  位置反馈装置:1836  位置编码:1739