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基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  刘利娜;  贾宏光;  王淑荣;  吴一辉
caj(70Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/77  |  提交时间：2012/09/25
微全分析系统  双功能温控芯片  Mems  温度控制  
发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备 期刊论文
微细加工技术, 2005, 期号: 04, 页码: 76-80
作者:  金霞;  梁静秋;  李佳;  赵莉娜;  王维彪
caj(80Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/80  |  提交时间：2013/03/11
微显示器件  发光二极管阵列  隔离沟槽  湿法腐蚀  欧姆接触  Algainp  Gap